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非標陶瓷件都包括哪些,各有什么作用

發(fā)布時間：2020-09-08

陶瓷棒：
因各個客戶機臺使用上的不同，因此會延伸出多種不同外觀大小的陶瓷棒。這個部分皆可根據(jù)各戶的需求進行生產(chǎn)。

陶瓷螺絲
半導體以及光電業(yè)機臺設(shè)備因會需使用酸堿性較高的腐蝕性化學藥劑，機臺內(nèi)使用之螺絲也需要考慮到是否可以抗酸堿腐蝕，故許多機臺內(nèi)的螺絲都采用陶瓷螺絲。

聚焦環(huán)
主要用在半導體以及光電業(yè)蝕刻機臺設(shè)備，所以機臺亦長期與化學藥劑接觸，故此零件大部分廠商會使用陶瓷或是石英，石英部分較陶瓷不耐碰撞，石英碰撞后容易造成表免剝落狀態(tài)，上機會造成問題。故目前所知采用陶瓷的廠商已經(jīng)越來越多。

注入器
在半導體機臺設(shè)備中扮演著化學氣體輸出入的角色，因為他長時間都需接觸化學氣體，故他須要有耐酸堿耐腐蝕的功能，以免因為他的腐蝕造成機臺設(shè)備的損傷。工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸堿剛好適合使用。

上下保護環(huán)
陶瓷本身無磁性之功能正好符合半導體機臺內(nèi)保護環(huán)防止雜訊干擾使用，因機臺所需的尺寸大小不同，尺寸部分也會因此不同。這個部分皆可根據(jù)各戶的需求進行生產(chǎn)。

機械手臂
因半導體機臺設(shè)備內(nèi)常使用化學藥劑，機臺設(shè)備所生產(chǎn)之產(chǎn)品又須要可以轉(zhuǎn)送下一站別，故有了機械手臂這項產(chǎn)品。為了避免機臺內(nèi)的化學藥劑對機械手臂產(chǎn)生化學反應，許多廠商已經(jīng)開始改用陶瓷所生產(chǎn)的機械手臂。

鐘罩
會用在反應器系統(tǒng)內(nèi)，且電漿或是化學氣體有時會在此停留，故在鐘罩的材質(zhì)使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕，因此目前有許多半導體設(shè)備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質(zhì)，鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質(zhì)�；虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚�。

壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機臺設(shè)備中，長期會接觸化學藥劑，陶瓷材質(zhì)可避免長期接觸化學藥劑產(chǎn)生腐蝕的現(xiàn)象。

陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板
多用于LCD蝕刻機臺設(shè)備，機臺需長期與化學藥劑接觸，中間孔洞部分是需鎖螺絲，所以它的材質(zhì)多數(shù)須考量可耐酸堿，抗腐蝕，故目前大多數(shù)都采用陶瓷材質(zhì)。因應機臺的需求會產(chǎn)生很多不一樣型式，故我們樣式的陶瓷陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶客制化的服務(wù)，可配合生產(chǎn)各式陶瓷或金屬長板陶瓷表面處理。

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